Applikazzjoni ta 'Hiter tal-Iskartoċċ ta' 850 grad fl-Industrija tal-Manifattura tas-Semikondutturi
L-industrija tal-manifattura tas-semikondutturi għandha rekwiżiti estremament għoljin għat-tagħmir tat-tisħin, speċjalment fi proċessi bħall-ittemprar tal-wejfer, id-diffużjoni u l-impjantazzjoni tal-jone, li jeħtieġu tisħin stabbli, uniformi u b'temperatura għolja{0}}. Ħiters tal-iskartoċċ ordinarji ma jistgħux jissodisfaw ir-rekwiżiti stretti tat-temperatura ta 'dawn il-proċessi, filwaqt li l-heater tal-iskartoċċ ta' 850 grad sar il-komponent tat-tisħin ewlieni fl-industrija tal-manifattura tas-semikondutturi minħabba l-prestazzjoni u l-istabbiltà eċċellenti ta 'temperatura għolja-. Fil-fatt, il-kwalità u l-prestazzjoni tal-heater tal-iskartoċċ ta '850 grad jaffettwaw direttament ir-rendiment u l-kwalità tal-prodotti tas-semikondutturi.
L-ittemprar tal-wejfer huwa wieħed mill-proċessi ewlenin fil-manifattura tas-semikondutturi, li jeħtieġ li jsaħħan il-wejfer sa 700-850 grad u li żżomm temperatura stabbli għal ċertu perjodu ta 'żmien biex telimina l-istress intern u ttejjeb il-prestazzjoni elettrika tal-wejfer. Il-heater tal-iskartoċċ ta '850 grad huwa ddisinjat apposta għal dan il-proċess - jista' jilħaq u jżomm b'mod stabbli t-temperatura għolja ta '850 grad, u l-uniformità tat-temperatura hija fi ħdan ± 5 gradi, li tista' tiżgura li l-wejfer kollu jissaħħan b'mod uniformi, u jevita sħana żejda lokali jew tisħin insuffiċjenti. Skont l-esperjenza, il-heater tal-iskartoċċ użat fl-ittemprar tal-wejfer jeħtieġ li jkollu densità ta 'qawwa ta' 6-7 W/cm², li jista 'malajr issaħħan il-wejfer għat-temperatura stabbilita u jżomm l-istabbiltà. Barra minn hekk, l-għant tal-heater tal-iskartoċċ jeħtieġ li jkun magħmul minn Incoloy 600, li għandu reżistenza eċċellenti għall-korrużjoni u jista 'jevita l-kontaminazzjoni tal-wejfer minn joni tal-metall.
Fil-proċess ta 'diffużjoni, il-heater tal-iskartoċċ ta' 850 grad jintuża biex issaħħan il-forn tad-diffużjoni sa 800-850 grad, sabiex l-atomi ta 'impurità (bħal boron u fosfru) jistgħu jinfirxu fil-wejfer biex jiffurmaw junction PN. Dan il-proċess għandu rekwiżiti estremament għoljin għall-istabbiltà tat-temperatura-anke ċaqliq żgħir tat-temperatura (aktar minn ± 3 gradi) se jaffettwa l-fond tad-diffużjoni u l-uniformità tal-atomi ta 'impurità, li jwassal għal prodotti semikondutturi mhux kwalifikati. Il-heater tal-iskartoċċ ta '850 grad għandu stabbiltà fit-temperatura eċċellenti, u jista' jżomm it-temperatura stabbilita għal żmien twil mingħajr fluttwazzjoni ovvja. Barra minn hekk, il-heater ta 'l-iskartoċċ użat fil-proċess ta' diffużjoni jeħtieġ li jiġi installat f'ambjent issiġillat, għalhekk għandu jkollu prestazzjoni tajba ta 'insulazzjoni u li ma jgħaddix arja minnha biex tevita t-tnixxija u tiżgura s-sigurtà tal-produzzjoni.
L-impjantazzjoni tal-joni hija proċess importanti ieħor fil-manifattura tas-semikondutturi, li jeħtieġ li jsaħħan il-wejfer għal 300-850 grad biex titnaqqas il-ħsara kkawżata mill-impjantazzjoni tal-joni u ttejjeb l-effiċjenza tal-attivazzjoni tal-atomi tal-impurità. Il-heater tal-iskartoċċ ta '850 grad jintuża biex issaħħan l-istadju tal-wejfer, li jista' jaġġusta malajr it-temperatura skont ir-rekwiżiti tal-proċess u jżomm tisħin uniformi. It-tul u d-dijametru tal-heater tal-iskartoċċ jeħtieġ li jiġu mqabbla mad-daqs tal-istadju tal-wejfer biex jiġi żgurat li l-istadju kollu tal-wejfer jissaħħan indaqs. Skont l-esperjenza, il-heater tal-iskartoċċ użat fl-impjantazzjoni tal-joni għandu jagħżel densità tal-qawwa ta '5-6 W/cm², li tista' tibbilanċja l-veloċità tat-tisħin u l-istabbiltà tat-temperatura, u tevita ħsara lill-wejfer minħabba sħana żejda.
Minbarra l-proċessi ta 'hawn fuq, il-heater tal-iskartoċċ ta' 850 grad huwa wkoll użat ħafna f'rabtiet oħra tal-manifattura tas-semikondutturi, bħal depożizzjoni tal-fwar kimiku (CVD) u depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD). F'dawn il-proċessi, il-heater tal-iskartoċċ jintuża biex issaħħan il-kamra tar-reazzjoni għal 600-850 grad, li jipprovdi ambjent ta 'reazzjoni stabbli għall-proċess ta' depożizzjoni. Ir-reżistenza għat-temperatura għolja u r-reżistenza għall-korrużjoni tal-heater tal-iskartoċċ jistgħu jiżguraw li taħdem b'mod stabbli fl-ambjent ħarxa tal-kamra tar-reazzjoni (bħal gassijiet korrużivi u vakwu għoli), u l-ħajja twila tas-servizz tagħha tista 'tnaqqas il-frekwenza ta' sostituzzjoni u manutenzjoni, u tiżgura l-kontinwità tal-produzzjoni.
Fil-qosor, il-heater tal-iskartoċċ ta '850 grad għandu rwol insostitwibbli fl-industrija tal-manifattura tas-semikondutturi, u l-prestazzjoni stabbli ta' temperatura għolja -, tisħin uniformi u reżistenza għall-korrużjoni jistgħu jissodisfaw ir-rekwiżiti stretti ta 'diversi proċessi ta' manifattura ta 'semikondutturi. Madankollu, għandu jiġi nnutat li l-heater tal-iskartoċċ użat fl-industrija tas-semikondutturi jeħtieġ li jilħaq standards ta 'kwalità ogħla, bħal rilaxx baxx ta' joni tal-metall, uniformità ta 'temperatura għolja u prestazzjoni tajba ta' insulazzjoni. Proċessi differenti tal-manifattura tas-semikondutturi għandhom rekwiżiti differenti għall-heater tal-iskartoċċ, għalhekk huwa meħtieġ li tiddisinja soluzzjonijiet professjonali skont il-proċess speċifiku biex timmassimizza l-prestazzjoni tal-heater tal-iskartoċċ ta '850 grad u tiżgura l-kwalità tal-prodotti tas-semikondutturi.
